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AltiSurf530 - Medidor de Rugosidad y Perfilómetro sin Contacto

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Principalmente desarrollado para aplicaciones de semiconductores, la AltiSurf530 es también la base para muchas estaciones de metrología adaptados a necesidades muy específicas de los clientes. Al igual que el AltiSurf500 y 520, se puede integrar todo.

 

Especificaciones

 

EJES:

• Longitud X, Y, Z (mm): 300 x 300 x 300.
• Motorizado DC Eje.
• Planitud por debajo de 2 micras sobre 300 mm después de la corrección.
• Máxima velocidad: Hasta 40 mm/s
• Opción: Pregresiones 0,1 micra
• Pción: doble eje rotatorio

  

 

 

     

 

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